半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)和無機(jī)物，這些有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重，如不加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
半導(dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放風(fēng)量大、濃度低和成分復(fù)雜的特點(diǎn)，使用其它的有機(jī)廢氣治理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。比較適用的是吸附——催化燃燒法，目前一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)。
沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒設(shè)備安裝在客戶廠區(qū)
大風(fēng)量、低濃度的揮發(fā)性有機(jī)廢氣(VOCs)經(jīng)過高效過濾器過濾后，進(jìn)入沸石分子篩被吸附、濃縮，被吸附凈化后的干凈空氣通過煙囪排入大氣。
電控系統(tǒng)控制催化氧化爐開始加熱，加熱后的高溫氣體經(jīng)換熱器降溫再經(jīng)混風(fēng)調(diào)節(jié)到100——200℃;沸石轉(zhuǎn)輪緩慢回轉(zhuǎn)(3～8r/h)，吸附區(qū)的轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn)到脫附區(qū)高溫脫附，脫附后的高濃度有機(jī)廢氣經(jīng)換熱器預(yù)熱進(jìn)入催化氧化爐，氧化分解成二氧化碳和水，凈化后的空氣經(jīng)煙囪高空排放。
完成脫附的沸石轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn)到冷卻區(qū)冷卻降溫，完成吸附/脫附/冷卻的循環(huán)過程。
該方法適用于大風(fēng)量、低濃度、常溫的有機(jī)廢氣治理，有機(jī)廢氣治理效率達(dá)到95%以上，運(yùn)行費(fèi)用較低，設(shè)備處理風(fēng)量大，占地面積小，不產(chǎn)生二次污染，可持續(xù)脫附并處理污染物，保證廢氣達(dá)標(biāo)排放。
樸華科技是一家專業(yè)的環(huán)保設(shè)備生產(chǎn)廠家，擁有十多年的有機(jī)廢氣處理、粉塵治理、脫硫脫硝、污水治理、油煙凈化大型項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)，并可對(duì)整套設(shè)備進(jìn)行優(yōu)化改良，提供相關(guān)設(shè)備的制造、安裝、調(diào)試等服務(wù)，歡迎廣大客戶前來咨詢，全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)熱線：158-9013-7611。
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